新兴精细化工讲座

来源 :精细石油化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzjkan

【摘要】

：

<正> 4 半导体用高纯硅高纯硅的制法是先使金属硅与盐酸作用生成三氯硅烷,精制后再用氢还原为金属硅,这时得到的是多晶硅。另一方法是小松制作所发明的用甲硅烷制造多晶硅。

【作者】

：

苏威乐志强

【机构】

：

化工部天津化工研究院,化工部天津化工研究院

【出处】

：

精细石油化工

【发表日期】

：

1992年5期

【关键词】

：

氧化铝纤维催化剂

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<正> 4 半导体用高纯硅高纯硅的制法是先使金属硅与盐酸作用生成三氯硅烷,精制后再用氢还原为金属硅,这时得到的是多晶硅。另一方法是小松制作所发明的用甲硅烷制造多晶硅。含杂质<1ppb的超高纯多晶硅是用高纯锌还原SiCl_4,然后蒸出ZnCl_2制得的。将多晶硅转化为单晶硅,通常用CZ法和FZ法。CZ法是在石英坩埚中将多晶硅熔融,加入单晶晶种进行提拉

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