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以半导体封装设备中的芯片自动分选机为实例,介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线的应用。该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠。
富士控制系统在半导体设备中的应用
【摘 要】
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以半导体封装设备中的芯片自动分选机为实例,介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线的应用。该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便
【机 构】
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上海微松工业自动化有限公司
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2012年8期
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