【摘 要】
：
采用离子束溅射与磁过滤阴极弧共沉积技术在单晶硅片(400)表面制备Si含量(摩尔分数)为3.2%~15.5%范围内的TiSiN薄膜。采用X射线光电子能谱(XPS)、电子散射谱(EDS)、X射线衍射
论文部分内容阅读
采用离子束溅射与磁过滤阴极弧共沉积技术在单晶硅片(400)表面制备Si含量(摩尔分数)为3.2%~15.5%范围内的TiSiN薄膜。采用X射线光电子能谱(XPS)、电子散射谱(EDS)、X射线衍射仪(XRD)研究TiSiN薄膜的显微结构和力学性能。结果表明:低Si含量的薄膜以面心立方晶型的Ti(Si)N固溶体形式存在,择优晶面为(200)面;当Si含量饱和后,出现Ti(Si)N和Si3N4非晶相,形成Ti(Si)N/Si3N4纳米复合结构。薄膜硬度范围在22~26GPa,采用Si3N4小球为对偶时薄膜的摩擦因数均维持在0.13~0.17之间。Si含量为10.9%时,硬度达最大值,结合较低的粗糙度,使其摩擦因数和磨损率达到最低值。
其他文献
老年性皮肤瘙痒症是老年人常见的皮肤病之一。我院疗养二科自2009年01-12月采用中药治疗老年疗养员皮肤瘙痒症58例，效果较好，现报告如下。
“十九大”报告中提出乡村振兴战略令人鼓舞。习总书记指出，“农业农村农民问题始终是关系国计民生的根本性问题，必须始终把解决‘三农’问题作为全党工作重中之重”。农业现代
足球运动的开展是高职院校体育的重要组成部分,本文主要针对潍坊地区的高职院校足球教学开展情况进行了调查,分析了学生在课堂内和课堂外足球运动的开展情况,并据此提出了若
采用固相法制备添加K0.5Na0.5NbO3（KNN）和BBS玻璃（BBS）的BaTiO3电容器陶瓷。借助X射线衍射仪、扫描电镜和阻抗分析仪研究掺杂对晶体结构、微观组织及介电性能的影响。结果表明：单
以钛酸四正丁酯和偏钨酸铵为原料,采用水热-模板法制备复合WO3-TiO2光催化剂。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、比表面积（BET）和紫外-可见漫反射（UV-Vis DRS）等手段对催化
农膜是我省农业的重要生产资料之一，农膜覆盖栽培技术的推广应用带动了我省农业生产力的显著提高和生产方式的改变，对稳定发展我省农业生产，保障粮食安全和重要农产品有效供给做
通过调整固体粉末渗铝法工艺在镍基高温合金DZ417G基体上制备了Ni-Al二元成分区间内组织可控的γ′-Ni3Al、γ′-Ni3Al＋β-NiAl、β-NiAl、β-NiAl＋δ-Ni2Al3和δ-Ni2Al3涂层,
6σ是一种全新的企业管理方式,在实际应用过程中已经取得良好的效果,并且6σ的管理理念也已经被大众接受。在高校学生管理和服务工作开展过程中,6σ管理理念的应用,能够使得
引言豫东南地区处于亚热带季风气候带，南北方季风在此活动频繁，造成该地区气象灾害频发，导致黄花菜严重减产和品质下降，每年给黄花菜生产造成巨大经济损失。分析和掌握气候灾害致