【摘 要】
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在整体尺寸不变的基础上，结合集总参数模型，利用ANSYS有限元软件对氮化铝（AIN）压电振动能量收集器的结构参数进行优化设计，得到压电悬臂梁单元的优化尺寸为5mm×12mm×0．05
【机 构】
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重庆大学微系统研究中心,重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学光电工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61604023);国家高技术研究发展计划(“863”计划)资助项目(2015AA042603)
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在整体尺寸不变的基础上，结合集总参数模型，利用ANSYS有限元软件对氮化铝（AIN）压电振动能量收集器的结构参数进行优化设计，得到压电悬臂梁单元的优化尺寸为5mm×12mm×0．05mm。设计了工艺流程，加工了原理样机。经测试：在1g。加速度，204．6Hz谐振频率激励下，样机在最优化负载80kΩ下的输出电压为2．3V，输出功率为66．125μw，满足部分低功耗传感节点的供能要求。
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