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无论是Intel、三星电子，还是台积电、Global Foundries，2014年都会加大投入，合计增加约20％，而各家关注的重点当然是新的半导体工艺：16／14nm。
16／14nm半导体工艺将在三年后全面兴起
【摘 要】
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无论是Intel、三星电子，还是台积电、Global Foundries，2014年都会加大投入，合计增加约20％，而各家关注的重点当然是新的半导体工艺：16／14nm。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2013年12期
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