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<正> 用过滤器除掉气体中的尘埃微粒,国内、外已得到普遍推广应用。近十多年来,集成电路技术发展相当迅速,集成度愈来愈高,功能愈来愈多,构造愈来愈复杂,线条宽度愈来愈细,加工制造愈来愈难。气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品率有极大的影响,严重者会导致整个电路报废。
高效气体净化过滤器
【摘 要】
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<正> 用过滤器除掉气体中的尘埃微粒,国内、外已得到普遍推广应用。近十多年来,集成电路技术发展相当迅速,集成度愈来愈高,功能愈来愈多,构造愈来愈复杂,线条宽度愈来愈细,加
【机 构】
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核工业部第八研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年01期
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