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以六氟丙烯、全氟庚烷、八氟环丁烷、全氟辛基乙烯、1，1，1，3，3，3-六氟-2-丙醇和2,2，2-三氟乙醇等氟碳化合物为气氛对丝绸织物进行等离子体处理，考察处理后丝绸织物的拒水拒油性能，利用x射线光电子能谱（XPS）分析等离子体处理前后元素组成及官能团的变化．不同氟碳化合物等离子体处理后在织物表面引入了定量的氟元素，织物的拒水性能增加．Cls谱图表明在织物表面引入了-CF、-CF2和-CF3基团，不同氟碳化合物引入到织物表面的含氟基团有所不同，说明化合物结构不同使在丝绸织物表面的结合方式有所区别．