【摘 要】
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自动掩模检测技术是随着VLSI的迅速发展而发展起来的一项新型的高精密检测技术。本文将阐述自动掩模检测技术对提高成品率、电气性能,降低成本的意义;介绍一套优质VLSI掩模版
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自动掩模检测技术是随着VLSI的迅速发展而发展起来的一项新型的高精密检测技术。本文将阐述自动掩模检测技术对提高成品率、电气性能,降低成本的意义;介绍一套优质VLSI掩模版的检测内容、要求,以及检测方法;综合报导目前国外的各种自动掩模检测设备的原理,性能参数,应用情况。最后指出我国发展VLSI的方向。
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