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微夹钳是最典型的微执行器，它可以充当机器人手爪，配合各种多自由度驱动装置成为微机器人，微夹钳单元技术与微装配，微操作，微焊接、微封装等系统技术紧密地联系在一起，由于它的重要性和广泛的应用，近年来已成为微机领域研究的热点。本文首先介绍了微小领域中物体夹持的物理背景，阐述了粘附力的规律和解决方法；详细介绍了已有的微夹钳的研究进展状况，结合作者的科研工作，阐述了有代表性的几种微夹钳的工作原理及工艺制作方