【摘 要】
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在自动化控制领域内,PID控制器具有结构简单、容易实现、控制效果好等特点,是迄今为止最稳定的控制方法。高真空镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,控制温度的
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在自动化控制领域内,PID控制器具有结构简单、容易实现、控制效果好等特点,是迄今为止最稳定的控制方法。高真空镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,控制温度的精准与否将直接影响空间用太阳电池成膜质量,研究了PID算法的原理和实现方法,将其应用到真空镀膜机温度控制系统中,并且摸索出相应参数整定的方法规律,可以满足工艺所需要的各种温度。
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