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用磁控溅射法制备ITO膜所留下的ITO废靶料是一种经高压高温成型的铟、锡氧化物陶瓷烧结体,它耐腐蚀耐高温,但富含稀有金属铟,其回收再生技术特别是其中的铟、锡分离复杂,本文介绍几种回收方法并加以评述。
ITO废靶回收再生技术
【摘 要】
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用磁控溅射法制备ITO膜所留下的ITO废靶料是一种经高压高温成型的铟、锡氧化物陶瓷烧结体,它耐腐蚀耐高温,但富含稀有金属铟,其回收再生技术特别是其中的铟、锡分离复杂,本文
【机 构】
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广西冶金研究院
【出 处】
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中国资源综合利用
【发表日期】
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2005年02期
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