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研究了梳状谐振器在大信号作用下的机电特性方程，采用SPICE中的多项式受控源，给出了其F—I类比的大信号等效电路，同时根据所得到的等效电路宏模型运用SPICE软件进行了系统级的模拟，并采用两种方法进行了验证。
梳状谐振器的大信号等效电路宏模型
【摘 要】
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研究了梳状谐振器在大信号作用下的机电特性方程，采用SPICE中的多项式受控源，给出了其F—I类比的大信号等效电路，同时根据所得到的等效电路宏模型运用SPICE软件进行了系统级的模
【机 构】
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东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划 (课题编号 :2 0 0 2 AA40 40 10 ),,教育部 ( No.0 2 16)资助项目~~
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