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本发明提供了一种制作精细金属掩模板的方法。具体步骤为：（1）在基体表面制备牺牲层；（2）在牺牲层表面制备能够导电的薄膜；（3）在薄膜表面制备光刻胶膜；（4）利用光刻技术在光刻胶膜上刻蚀出图案；（5）采用电镀法实现光刻胶膜上刻蚀图案的图形化；（6）溶解胶膜，露出金属薄膜图案。
电镀法制作精细金属掩模板
【摘 要】
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本发明提供了一种制作精细金属掩模板的方法。具体步骤为：（1）在基体表面制备牺牲层；（2）在牺牲层表面制备能够导电的薄膜；（3）在薄膜表面制备光刻胶膜；（4）利用光刻技术在光刻胶膜上刻蚀出图
【出 处】
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电镀与环保
【发表日期】
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2018年4期
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