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FTO薄膜制备技术研究进展
FTO薄膜制备技术研究进展
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanggang34320
【摘 要】
:
本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,
【作 者】
:
郁建元
王立坤
王丽
宋玉嘉
赵洪力
【机 构】
:
燕山大学材料科学与工程学院,唐山学院环境与化学工程系
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2016年11期
【关键词】
:
FTO薄膜
制备方法
进展
FTO thin film preparation method development
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本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望。
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