用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaohenghao

【摘要】

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基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的

【作者】

：

陈爽朱名铨邓进军马炳和姜澄宇

【机构】

：

西北工业大学

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

分离点表面压力分布微型压力传感器阵列柔性衬底背引线

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基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围.

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