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硅片少子寿命的直排四探针测试
硅片少子寿命的直排四探针测试
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhang5658
【摘 要】
:
用直排四探针方法测试硅抛光片的电阻率时 ,减少表面复合和增大测试电流故意引进注入使电阻率减少 ,根据电导率与少数载流子寿命成正指数增加的关系 ,求得少子寿命
【作 者】
:
周全德
【机 构】
:
上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心)
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2001年03期
【关键词】
:
少子寿命
直排四探针
电阻率测试
注入
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用直排四探针方法测试硅抛光片的电阻率时 ,减少表面复合和增大测试电流故意引进注入使电阻率减少 ,根据电导率与少数载流子寿命成正指数增加的关系 ,求得少子寿命
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