等离子体交叉场调制开关导通过程的模拟与测试

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kf_haiyang
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以冷阴极等离子体交叉场调制开关为研究对象,将系统内放电过程中形成的等离子体视为电子与正离子构成的双流体,引入扩散系数与迁移率来表征电子流与离子流的运动,用离子产率来表征与流体密切相关的离子密度随放电时间的进行而发生的变化,耦合泊松方程来描述等离子体与外电场的相互影响,同时,将气体间隙的脉冲放电合理的与直流放电等效,并确定外电路各量之间的函数关系,利用Comsol软件对调制开关的导通过程进行了数值模拟,所得结果与实测结果吻合,证明了模拟脉冲放电中管内阻抗随时间的变化关系是准确的,从而说明本文所采用的模拟方法对气体放电器件的研制具有积极的指导意义。 Taking cold cathode plasma cross-field modulation switch as the research object, the plasma formed in the discharge process of the system is regarded as a two-fluid composed of electrons and positive ions. The diffusion coefficient and mobility are introduced to characterize the movement of electron and ion currents, Ion yield is used to characterize the changes of ion density closely related to the flow with the discharge time. The Poisson equation is coupled to describe the interaction between the plasma and the external electric field. At the same time, the pulse discharge of the gas gap is proportional to the direct current Discharge equivalent, and determine the function of the external circuit between the amount of the use of Comsol software to modulate the switch on the process of numerical simulation, the results obtained agree with the measured results show that the simulated pulse discharge tube impedance with time changes The relationship is accurate, which shows that the simulation method used in this article has a positive guiding significance for the development of gas discharge devices.
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