【摘 要】
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一、引言 许多类型的可变电容压力传感器已经问世。并且大多数是金属焊接结构。这种结构是用张紧的膜片式隔膜作为挠曲元件。该类型传感器具有高灵敏度,而且具有随处于两个
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一、引言 许多类型的可变电容压力传感器已经问世。并且大多数是金属焊接结构。这种结构是用张紧的膜片式隔膜作为挠曲元件。该类型传感器具有高灵敏度,而且具有随处于两个电极中心的膜片差动形式工
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