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利用超快激光照射硫化气流中的硅材料或者其他蚀刻工艺可以形成黑硅，黑硅可以应用于红外探测及太赫兹辐射。美国国家可再生能源实验室的研究人员发现了一种纳米催化蚀刻的纳米多孔黑硅层，可用于硅太阳能电池的高效抗发射薄膜。
黑硅为高效太阳能电池提供抗反射表面
【摘 要】
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利用超快激光照射硫化气流中的硅材料或者其他蚀刻工艺可以形成黑硅，黑硅可以应用于红外探测及太赫兹辐射。美国国家可再生能源实验室的研究人员发现了一种纳米催化蚀刻的纳米
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2009年12期
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