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重点介绍了一种基于PZT驱动的双柔性平行四连杆结构二维微动工作台。推导了柔性铰链各尺寸对固有频率的影响公式，并用有限元参数化分析方法，找到对固有频率影响较大的参数。将有限元模态分析值和实验测试结果相比较，探讨影响微动工作台动态性能的综合因素，为微动台的设计提供理论和实验依据。
基于柔性铰链结构的二维微动工作台研究
【摘 要】
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重点介绍了一种基于PZT驱动的双柔性平行四连杆结构二维微动工作台。推导了柔性铰链各尺寸对固有频率的影响公式，并用有限元参数化分析方法，找到对固有频率影响较大的参数。将
【机 构】
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齐齐哈尔大学计算机与控制工程学院,大连理工大学机械工程学院
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2007年4期
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