808nm大功率量子阱激光器无吸收腔面镀膜的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oracle_1984
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用电子束反应蒸发法制备了的a-Si:H膜和Al2O3膜组成的a-Si:H/Al2O3膜系,解决了a-Si/Al2O3膜系在808nm波长有较强光吸收问题,吸收系数从2×10^3cm^-1降低到可以忽略的程度,a-Si:H膜的光学带隙为1.74eV左右,应用到808nm大功率量子阱激光器腔面底膜上,其器件光电性能获得较大改善。
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