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采用闭式实验测量方法测试了微型平面薄膜元件,对出现的过冲弛豫现象产生机理采用扩散模型进行了物理过程分析,并进行了仿真。给出了气敏元件反应放热率Prea与Δttea反应温变的关系式,据此对还原气体分子表面反应几率进行了研究,并对闭室测试中浓度的衰减进行了分析,浓度衰减慢过程的结果验证了闭式测量与流通测量的一致性结论。