注氮硅中光致发光现象及其机制的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt7506
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过能量为100keV,剂量为1×10^18cm^-2的N^+注入到硅基体中,经1000 ̄1200℃之间快速退火后,形成了含氧的硅与氮化硅镶嵌结构的薄膜层。在室温下观察到主要来自于45nm表面层的能量分别为3.3eV、3.0eV,2.8eV和2.2eV的光致发光。通过XPX、AES的分析,确认了由于氧的插入,样品中N-Si-O缺陷,Si/SiO2界面发光中心,分别是引起3.0eV和2.2eV的光
其他文献
用HI法对甘肃省肉仔鸡H5N1型禽流感(HPAI)母源抗体消长规律进行动态监测,结果显示,肉仔鸡母源抗体保护期长达67 d。其中,种蛋的母源抗体效价最高为9.48 log2,1日龄肉仔鸡母源抗
<正> 国内外学者对母畜不孕症的研究已取得了显著成绩,但治疗药物多为化学药品,价高,有残毒,药源缺,难以推广。为此,笔者根据中草药药源广、成本低、无残毒的特点,按照中兽医
高血压病是中老年人常见的心血管疾病,常伴有心、脑、肾等器官功能性或器质性的改变,严重危害人民健康和生活质量。据资料显示,高血压患病率以每10年上升25%的速度递增,50岁以上患
目的探讨血管异常致下消化道出血的诊断和治疗方法。方法回顾性分析我院2006年6月~2012年3月诊治的17例血管异常致下消化道出血患者的临床资料。结果临床表现以暗红色血便、血
2010年12月12日消息,瑞幸咖啡宣布完成2亿美元B轮融资,此轮融资后,瑞幸估值达22亿美元。2018年7月11日,瑞幸宣布完成2亿美元A轮融资,估值达10亿美元。从2018年1月试营业开始,
计算机和国际互联网的普及与发展,标志着以现代信息技术为基础、以信息化为标志的知识经济时代己经到来,传统会计所依存的社会经济环境正发生着革命性的挑战和变革,会计管理信息
【正】 前几年,极少数坚持资产阶级自由化立场的人鼓吹在中国实行西方的多党制,并以此来否定中国共产党的执政地位和领导作用。我们认为,西方的多党制完全不符合中国国情,中
本文结合实际工程探讨了山区高速公路小半径曲线T梁预制的相关计算问题,供大家参考。
用GSMBE技术在国内首次研究了应变Si1-x Gex/Si异质结材料的生长,并用X射线双晶线双晶衍射技术对样品进行了测试分析,对于Si0.91Ge0.09和Si0.86Ge0.14单层,其半宽度FWHM分别为100〃和202〃,对于Si0.89Ge0.11/Si多量子阱,其卫星峰多达15个以上,三种样品中
采用常规PECVD工艺,在N型单晶硅(c-Si)衬底上沉积薄层纳米Si(nc-Si)膜,并进而制备了ns-Si:H/c-Si量子点二极管。在10 ̄100K温度范围内实验研究了该结构的σ-V和I-V特性。结果指出,当反身偏压为-7 ̄-9V时,无论在σ-V还是在I-V特性曲线上都观测