【摘 要】
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采用光学传输矩阵方法分析了厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移产生的影响.结果表明,反射镜和VCSEL中各层厚度的偏大,将使反射镜的中心波长以及VCSEL的模式波长向长波方向移
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院电子学研究所
【基金项目】
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国家863计划资助(项目编号2001AA312180)
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采用光学传输矩阵方法分析了厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移产生的影响.结果表明,反射镜和VCSEL中各层厚度的偏大,将使反射镜的中心波长以及VCSEL的模式波长向长波方向移动,而反射镜和VCSEL中各层厚度的偏小,将使反射镜的中心波长以及VCSEL的模式波长向短波方向移动.将键合界面离有源区稍微远一些,有利于减小其厚度偏差对VCSEL的模式波长的影响.
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