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采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出含Ag量不同的Ag掺杂ZnO：Ag薄膜，利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪及荧光分光光度计研究了不同Ag掺杂量对ZnO薄膜结构及荧光发射谱的影响．在室温下测量了样品的光致发光谱，所有样品都出现了446nm左右的蓝色发光峰，在掺杂以后的样品中观察到波长位于368nm左右的较强紫外发射．结合X射线衍射仪、光电子能谱仪等的测量结果，分析认为，样品紫外光发射的显著增强源于Ag掺杂以后在晶粒间界形成的大量激子，而蓝光的发射来源于Zn空位．