【摘 要】
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本文讨论了对象特性缓慢时变,并且有确定性扰动和随机干扰作用下的单晶生长过程的自适应控制。对采用广义最小方差控制的自校正控制器及引入前馈信号而使系统具有较好的品质
【机 构】
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陕西机械学院自动控制系,陕西机械学院自动控制系,陕西机械学院自动控制系,陕西机械学院自动控制系,
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本文讨论了对象特性缓慢时变,并且有确定性扰动和随机干扰作用下的单晶生长过程的自适应控制。对采用广义最小方差控制的自校正控制器及引入前馈信号而使系统具有较好的品质指标进行分析。介绍应用DJS—131型电子计算机实现的“过程—Fortran—1V自校正控制在线软件包”应用于TDR—60型单晶炉单晶生长过程实时控制的初步结果。
In this paper, the object characteristics are slowly and time-varying, and the adaptive control of single crystal growth process under deterministic disturbances and random disturbances is discussed. The self-tuning controller using generalized minimum variance control and the introduction of feedforward signals make the system have good quality indicators for analysis. The application of “Process-Fortran-1V self-tuning control online software package” by DJS-131 computer is introduced to the preliminary results of real-time control of single crystal growth process of TDR-60 single crystal furnace.
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