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采用溶胶-凝胶（Sol—gel）法在玻璃衬底上制备了纳米TiO2薄膜。采用X射线衍射仪（xRD）、紫外可见-光谱（UV／Vis）和原子力显微镜（AFM）对纳米TiO2进行表征。结果表明，经300-700℃退火得到的TiO2粉体呈锐钛矿相，经800℃退火得到了锐钛矿相与金红石相的混合晶相，经900℃退火完全转化为金红石相。薄膜表面粒子分布均匀，表面平均粗糙度为1．54nm，该薄膜具有较高的光催化活性，可直接用于光催化降解有机物等领域，具有广阔的应用前景。