磁尺、光栅综合精度检测方法与内插细分精度分析

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在磁尺、光栅位置检测装置中,系统的综合精度主要由以下几种误差组成: 1)磁尺、光栅尺的节距误差, 2)内插细分误差; 3)由显示器引起的±1个最小读数值数字化误差; 4)机械部分的误差; 5)使用温度与录(刻)制磁尺、光栅时的标准温度不一致造成的误差。 当系统参数选定后,数显箱最 In the magnetic ruler and grating position detection device, the overall accuracy of the system mainly consists of the following errors: 1) the pitch error of the magnetic scale and grating ruler, 2) the interpolation subdivision error, and 3) the ± 1 A minimum reading digitization error; 4) the mechanical part of the error; 5) the use of temperature and record (engraved) making the tape, grating the standard temperature inconsistencies caused by the error. When the system parameters selected, the most digital display box
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