【摘 要】
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本文介绍了积分方程法计算涡轮分子泵叶列传输几率的数学模型和计算机程序框图，并用自编的电算程序对叶片角α＝１０°～４５°，节弦比Ｓ０＝０．５～１．８，速度比Ｃ＝－１．０～１．０范围内的各种不同参数的叶列传输几率Ｍ１２和Ｍ２１进行了计
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本文介绍了积分方程法计算涡轮分子泵叶列传输几率的数学模型和计算机程序框图，并用自编的电算程序对叶片角α＝１０°～４５°，节弦比Ｓ０＝０．５～１．８，速度比Ｃ＝－１．０～１．０范围内的各种不同参数的叶列传输几率Ｍ１２和Ｍ２１进行了计算，其值见附表１～１４，从而为涡轮分子泵进行定量的理论分析和理论计算提供了必须的手段．
In this paper, we introduce the mathematical model and computer program block diagram of integral equation method to calculate the probability of turbo molecular pump blade transmission, and use the computer program to calculate the blade angle α = 10 ° ~ 45 ° and the pitch ratio S0 = 0.5 ~ 1 .8, the leaf transfer rates M12 and M21 of various parameters with speed ratio C = -1.0 ~ 1.0 were calculated, the values of which are shown in the attached tables 1 to 14, so as to quantify the turbopump The theoretical analysis and theoretical calculations provide the necessary means.
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