【摘 要】
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北京燕山科学仪器联合开发公司研制成功LJ—2型多靶离子束溅射镀膜机,1990年10月19日通过了北京新技术产业开发试验区组织的鉴定。获北京市科技成果三等奖。 LJ—2型多靶离
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北京燕山科学仪器联合开发公司研制成功LJ—2型多靶离子束溅射镀膜机,1990年10月19日通过了北京新技术产业开发试验区组织的鉴定。获北京市科技成果三等奖。 LJ—2型多靶离子束溅射镀膜机是研制超导、类金刚石、光学及磁性等高质量薄膜和材料表面改性的现代化设备,是高科技领域研究新材料的重要手段之一。
Beijing Yanshan Joint Scientific Instruments Development Corporation successfully developed LJ-2 multi-target ion beam sputtering coating machine, October 19, 1990 passed the Beijing New Technology Industry Development Experimental Zone identification. Beijing won the third prize of scientific and technological achievements. LJ-2 multi-target ion beam sputtering coating machine is the development of superconducting, diamond-like, optical and magnetic high-quality films and materials surface modification of modern equipment, high-tech field is one of the important means of researching new materials.
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