【摘 要】
：
用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Mo/W /Ti/Au多层金属和n GaAs材料的欧姆接触 ,在溅射金属层之前分别用HCl溶液和 (NH4) 2 S溶液对n GaAs材料的表面进行处理 .用传输线法
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
论文部分内容阅读
用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Mo/W /Ti/Au多层金属和n GaAs材料的欧姆接触 ,在溅射金属层之前分别用HCl溶液和 (NH4) 2 S溶液对n GaAs材料的表面进行处理 .用传输线法对比接触电阻进行了测试 ,并利用俄歇电子能谱 (AES)、X射线衍射图谱 (XRD)对接触的微观结构进行了分析 .结果表明 ,用 (NH4) 2 S溶液对n GaAs材料表面进行处理后 ,比接触电阻最小 ;在 70 0℃快速合金化后获得最低的比接触电阻 ,约为 4 5× 10 -6Ω·cm2 .这是由于 (NH4) 2 S溶液钝化处理后降低了GaAs的表面态密度 ,消除了费米能级钉扎效应 ,从而改善了难熔金属与GaAs的接触特性
其他文献
以提高灌区管理水平为前提,重点讨论灌区续建配套与节水改造项目的实施,首先介绍该项目的实施现状,从4个方面分析灌区项目建设期间面临的问题与解决措施,最后提出优化建议。
随着现阶段微信公众平台越来越深入到人民日常生活当中,而现阶段以微信公众号作为载体的新闻传播也开始逐渐显现出新的开端,新闻媒体都纷纷开通微信公众号来提高受众对于新闻
Katsuki采用原子力显微镜（AFM）模拟单个磨粒与芯片的划痕作用，文中以此为基础使用线性回归的方法计算了化学机械抛光（CMP）中实际载荷情况下的划痕深度数量级为10^-11m；Nishizawa应
聚氨酯胶粘剂是指在分子链中含有氨基甲酸酯基团(-NHCOO-)或异氰酸酯基(-NCO)的胶粘剂。聚氨酯胶粘剂分为多异氰酸酯和聚氨酯两大类。聚氨酯胶粘剂应用到包装印刷制品上,其工
2020年年初,一场突如其来的新冠疫情打破了往日生活的祥和、安宁。面对这场危害波及全球的疫情,无论是成人还是孩子,都会在心理和生理上产生巨大冲击,给心理健康发展带来极大
介绍在部分耗尽绝缘体上硅(PDSOI)衬底上形成的抗辐射128kb静态随机存储器.在设计过程中,利用SOI器件所具有的特性,对电路进行精心的设计和层次化版图绘制,通过对关键路径和
一个适用于光纤通信系统中的1×8多模干涉功率分束器被设计并通过ICP刻蚀方法成功研制，这种基于SOI材料的功率分束器是采用多模波导作为输入／输出波导；经过光束传播方法模拟
实现经济的高质量发展,需要以供给侧结构性改革为主线,通过新旧动能转换,提高全要素生产率。青岛市作为山东省新旧动能转换综合试验区的三核之一,从战略和全局高度统筹谋划新