【摘 要】
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采用偏轴宜流磁控溅射原位生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δａ高温超导薄膜，以Ｈ３ＰＯ４为腐蚀液，采用化学湿刻工艺制作ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜微桥，微桥长１０μｍ，宽５μｍ，在８ｍｍ微波源的辐照下，除观察到整数常压台阶外，还观察到ｎ＝１／２，１／５，６／５，９／５等分数常压台
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采用偏轴宜流磁控溅射原位生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δａ高温超导薄膜，以Ｈ３ＰＯ４为腐蚀液，采用化学湿刻工艺制作ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜微桥，微桥长１０μｍ，宽５μｍ，在８ｍｍ微波源的辐照下，除观察到整数常压台阶外，还观察到ｎ＝１／２，１／５，６／５，９／５等分数常压台阶，分数台阶的高度随微波功率的变化较整数台阶更敏感．
YBa2Cu3O7-δa high-temperature superconducting thin films were grown in-situ by Y-axis flow magnetron sputtering and YBa2Cu3O7-δ high temperature superconducting thin film microbridges were fabricated by chemical wet etching using H3PO4 as etching solution. The micro-bridges were 10μm in length and 5μm in width, In the 8mm microwave source irradiation, in addition to observing the integer pressure steps, also observed n = 1 / 2,1 / 5,6 / 5, 9/5 and other fractional atmospheric pressure step, the fractional step height with the microwave Power changes more than integer steps more sensitive.
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