【摘 要】
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对CPK、SPC和PPM三项评价IC芯片质量和可靠性的关键技术进行了研究。使用这三项技术,实际评价了芯片制造工艺中的氧化工艺。实践证明,这三项技术在工艺生产能力评估、工艺过
【机 构】
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模拟集成电路重点实验室,中国电子科技集团公司第二十四研究所,
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对CPK、SPC和PPM三项评价IC芯片质量和可靠性的关键技术进行了研究。使用这三项技术,实际评价了芯片制造工艺中的氧化工艺。实践证明,这三项技术在工艺生产能力评估、工艺过程控制和失效分析等方面具有广阔的应用前景,特别是在工艺过程中对特殊工艺的评估。
Three key technologies for evaluating the quality and reliability of IC chips, CPK, SPC and PPM, were studied. Using these three techniques, the oxidation process in the chip manufacturing process is actually evaluated. Practice has proved that these three technologies have broad application prospects in the process of production capacity assessment, process control and failure analysis, especially in the process of special process assessment.
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