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<正> 简单地说,光阻剂是一种悬浮在含光敏化合物(PAC)溶剂中的聚合物。在深紫外激光光阻中,该聚合物是一种聚羟基苯乙烯(PHS)。正光阻剂(positive photoresist)是由感光剂制成的,它在照明下会溶
光阻剂
【摘 要】
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<正> 简单地说,光阻剂是一种悬浮在含光敏化合物(PAC)溶剂中的聚合物。在深紫外激光光阻中,该聚合物是一种聚羟基苯乙烯(PHS)。正光阻剂(positive photoresist)是由感光剂制
【出 处】
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化工文摘
【发表日期】
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2003年03期
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