在硅衬底上制作人工网膜芯片

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liweitxwd147
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据日本《O Plus E》杂志1993年第159期报道,日本三菱电机公司在硅衬底上研制成像人的眼睛那样可任意改变对光的灵敏度的“人工网膜芯片”。目前,这种芯片大都作在GaAs衬底上,而用硅衬底除了硅工艺很成熟外,还将提高对光反应的性能。目前正对器件的性能进行深入分析,并为器件实用化和提高集成度作努力。 According to Japan’s “O Plus E” magazine in 1993 No. 159 reported that Japan’s Mitsubishi Electric Corporation developed on the silicon substrate imaging human eyes that can be arbitrarily changed the sensitivity of light “artificial omentum chip.” At present, most of these chips are made on GaAs substrates, and besides the silicon process is very mature with silicon substrates, it will also improve the performance of light reaction. The performance of the device is currently undergoing in-depth analysis, and make practical efforts to improve device integration and integration.
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