【摘 要】
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反应离子刻蚀引起的SiO_2电特性辐射损伤评估=Evaluationofradiationdamageonelec-tricalcharacteristicsofSiO_2duetoreactiveionetching[刊,英]/Tsuakamoto...
Evaluation of radiation damage due to reactive ion etching due to SiO 2 electrical properties = Evaluationofradiati
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反应离子刻蚀引起的SiO_2电特性辐射损伤评估=Evaluationofradiationdamageonelec-tricalcharacteristicsofSiO_2duetoreactiveionetching[刊,英]/Tsuakamoto...
Evaluation of radiation damage due to reactive ion etching due to SiO 2 electrical properties = Evaluationofradiationdamageonelec-tricalcharacteristicsofSiO_2duetoreactiveionetching [Journal, English] / Tsuakamoto ...
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