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射频溅射法制备氮化锆薄膜工艺与性能分析
射频溅射法制备氮化锆薄膜工艺与性能分析
来源 :中国卫生产业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coolhongchacool
【摘 要】
:
现如今口腔不锈钢材料表面已经研发出了许多工艺,本文主要是分析在其表面采用射频电源磁控溅射一层氮化错薄膜对薄膜形貌,颜色等方面的影响。运用这项技术可以大大的减少成本,使
【作 者】
:
胡六平
【机 构】
:
新余市渝水区罗坊镇中心卫生院
【出 处】
:
中国卫生产业
【发表日期】
:
2011年5期
【关键词】
:
射频溅法
氮化锆薄膜
性能分析
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现如今口腔不锈钢材料表面已经研发出了许多工艺,本文主要是分析在其表面采用射频电源磁控溅射一层氮化错薄膜对薄膜形貌,颜色等方面的影响。运用这项技术可以大大的减少成本,使材料集外观,美感、安全性为一体,同时还大大的提升了材料的各项性能。
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