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本文在试样的表面制作出等间隔的平行线，作为反射式光栅，在激光束的照射下形成一列线阵分布的衍射光斑，并用线阵电荷耦合器件等组成的系统，测试衍射光斑间距及其变化量，从而高精度（μｍ量级）的为材料表面形变，应变等的测试，开发了一种具有近代光学测量的新技术。
表面形变精密测试方法的研究
【摘 要】
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本文在试样的表面制作出等间隔的平行线，作为反射式光栅，在激光束的照射下形成一列线阵分布的衍射光斑，并用线阵电荷耦合器件等组成的系统，测试衍射光斑间距及其变化量，从而高精度
【机 构】
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西北工业大学应用物理系,西安达力仪表研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1996年4期
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