【摘 要】
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<正> 目前集成电路已由16M DRAM向64M DRAM、256M DRAM的方向发展,因此图形线宽逐步缩小,1984年1M DRAM的图形线宽为1.2μm;1985年4M DRAM的图形线宽为0.8μm;1987年16M DRAM
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<正> 目前集成电路已由16M DRAM向64M DRAM、256M DRAM的方向发展,因此图形线宽逐步缩小,1984年1M DRAM的图形线宽为1.2μm;1985年4M DRAM的图形线宽为0.8μm;1987年16M DRAM的图形线宽为0.5μm;1990年日本日立公司又首先制成64M DRAM,其图形线宽为0.3μm;预计1995年将推出256M DRAM
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