相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究

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本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能,提高了测量膜厚的分辨率。最后给出的实验结果表明利用该原理测量膜厚是可行的。 In this paper, the principle of relative light intensity to determine the thickness of lubricating film. Enhance the measurement results of resistance to external interference, improve the resolution of the measured film thickness. Finally, the experimental results show that using this principle to measure the thickness is feasible.
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