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采用改进的水热法和新型工艺在SUS304不锈钢表面制备了Fe／Cr掺杂SiO2薄膜，并通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、电子探针（EPMA）和X射线光电子能谱深度分析（XPS）等检测手段对薄膜结构进行了分析。结果表明膜层主要分为两层：表层为共溶氧化物层；底层为Cr、Fe的氧化物，主要为尖晶石结构和Si网状结构。通过XPS检测结果得知，Si元素的加入不是简单的物理混合，而是与金属元素生成了Si—Fe键，进一步提高了膜层的结合力和耐酸性。