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对铁芯结构的改进有利于降低微型磁通门传感器的噪声,本文对铁芯结构进行了拓扑分析与优化,并采用标准MEMS工艺制备了相应的多孔铁芯结构微型磁通门,对所制备的微型磁通门进行了主要噪声指标的综合测试与对比分析。实验结果表明,改进后的多孔铁芯结构能很好地降低微型磁通门传感器的噪声,提高器件的综合性能。
基于结构优化的微型磁通门降噪技术研究
【摘 要】
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对铁芯结构的改进有利于降低微型磁通门传感器的噪声,本文对铁芯结构进行了拓扑分析与优化,并采用标准MEMS工艺制备了相应的多孔铁芯结构微型磁通门,对所制备的微型磁通门进
【机 构】
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河南理工大学电气工程与自动化学院,河南理工大学控制工程省重点学科开放实验室,河南工业和信息化职业学院电气工程系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2018年4期
【基金项目】
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河南省自然科学基金(162300410123);河南省高等学校控制工程重点学科开放实验室项目(KG2016-11);河南理工大学博士基金(B2017-22)
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