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通过将含有原子数分数为2％锂的Zn-Li合金薄膜和金属锌薄膜在500℃氮气氛中退火2h，然后在700℃氧气氛下退火1h的方法分别制备出ZnO：Li和ZnO薄膜。Hall效应测量表明，其导电类型分别为P型和n型。通过He．Cd激光器的325am线激发，测量了样品室温和低温（12K）光致发光光谱，并根据ZnO：Li薄膜的低温发光光谱特征，计算出Li相关受主能级位于价带顶137meV处。