酸性环境中基于Ta2O5的场效应管pH传感器的研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pengxianwei1986

【摘要】

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研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1—7的范围内呈现出-57．4mV／pH的响应，漂移性约为3mV，迟滞效应小于5mV，且无明显酸误差。对此传感器

【作者】

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金妍陈淼金庆辉赵建龙

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,CSIROProcessScienceandEngineering,中国科学院大学

【出处】

：

传感器与微系统

【发表日期】

：

2014年1期

【关键词】

：

TA2O5 PH传感器电化学阻抗谱原子力显微镜等效电路模型 Ta2O5 pH sensor electrochemical impedance sp

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研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1—7的范围内呈现出-57．4mV／pH的响应，漂移性约为3mV，迟滞效应小于5mV，且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究，并采用不同的等效电路来拟合此Si／SiO2／Ta2O5／电解液体系的响应机理，得出最佳的等效电路模型为RC（CR）（C（RW））。对拟合参数进行分析，此Ta2O5敏感膜与不同pH的电解液接触时，敏感膜与电解液的界面作用最终会引起半导体硅中空间电荷的变化，进而引起整个传感器结构的电容

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