【摘 要】
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<正> 一、引言双等潘宁金属离子源综合了双等源和潘宁源的优点,它不仅可以获得多电荷态离子,而且利用溅射技术还可以产生各种金属离子。我们生产的LY—l型双等源,只适用于气
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<正> 一、引言双等潘宁金属离子源综合了双等源和潘宁源的优点,它不仅可以获得多电荷态离子,而且利用溅射技术还可以产生各种金属离子。我们生产的LY—l型双等源,只适用于气体和挥发温度低于500℃的固体物质工作,对于挥发温度较高的固体物质则不能使用。因此我们利用LY—l型双等源的全部结构,在中间电极和阳极之间安置潘宁放电组件,把LY—l型双等源改成双等潘宁金属离子源。
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