【摘 要】
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敏感元件中问题较多的元件之一是电子湿敏元件。本文所述的新型湿敏元件是利用一种导电性高分子材料作为元件的敏感膜制成。它具有体积小、测湿范围宽、无需进行热清洗等优点
【机 构】
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上海科技大学分部,上海新港半导体器件厂
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敏感元件中问题较多的元件之一是电子湿敏元件。本文所述的新型湿敏元件是利用一种导电性高分子材料作为元件的敏感膜制成。它具有体积小、测湿范围宽、无需进行热清洗等优点。
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