【摘 要】
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工作于8～12μm波段的远红外探测器在遥感、制导、夜视技术等方面有着重要的应用。特别在海弯战争以后,更加受到各国军方和高科技界的重视。1990年美国加州里工学院喷气推进实
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
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工作于8～12μm波段的远红外探测器在遥感、制导、夜视技术等方面有着重要的应用。特别在海弯战争以后,更加受到各国军方和高科技界的重视。1990年美国加州里工学院喷气推进实验室发展了一种新型的锗硅异质结远红外探测器,它具有金属硅化物肖脱基(PtSi/Si和IrSi/Si)势垒探测器的优点,即工艺简单、大面积的均匀性好、读出电路简单、能和硅大规模集
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