【摘 要】
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微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章
【机 构】
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件
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微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章介绍了自上而下的微纳加工技术的进展及其在微纳器件研制的重要作用.
Micro-nano processing technology to promote integrated circuits continue to reduce the size of the device and increase the degree of integration, optical lithography is still the mainstream of micro-nano processing technology, while a variety of alternative technologies such as electron beam direct writing, EUV lithography and projection electronics Beam technology, the paper introduces the progress of top-down micro / nano processing technology and its important role in the development of micro / nano devices.
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