基于微机电系统技术的微电化学地震传感器

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介绍了一种新型电化学地震传感器,利用密闭液体(例如,电解质溶液)作为敏感要素,将外界震动引起的活性离子在电极间的不平衡转换成电流输出。通过理论分析和数值仿真,验证此理论方法来研发采用传统微机电系统(MEMS)技术研制的微地震传感器的可行性。基于震动试验台测试得到的实际速度与输出电压幅度的线性关系,研制设备的灵敏度特性为274V/m·s^-1(20-80Hz)。研制设备与类似商用产品(MET2003)进行了性能对比测试,实验结果表明,与MET2003相比,研制的设备在对随机震动的响应方面具有更低的
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