【摘 要】
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<正>KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*检测产品线。从而公司进入专用空白光罩的检验市场。光罩坯件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用于工艺开发和批量
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<正>KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*检测产品线。从而公司进入专用空白光罩的检验市场。光罩坯件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用于工艺开发和批量生产过程中的缺陷检测,此外,光罩制造商("光罩厂")为了进行光罩原料检测,设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。
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